JEOL Ltd. (TOKYO : 6951) (président et directeur de l’exploitation : Izumi Oi) a annoncé le lancement d’un nouveau microscope électronique analytique à résolution atomique, le JEM-ARM300F2 (GRAND ARM(TM)2) programmé pour février 2020.
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JEM-ARM300F2 (Photo: Business Wire)
Contexte du développement du produit
Au sein de l’industrie de microscopie électronique, de nombreux ingénieurs et microscopistes continuaient à rechercher des améliorations de la résolution. En parallèle, JEOL a poursuivi ses efforts en vue d’améliorer la stabilité du microscope électronique en transmission (MET). En associant les technologies de correction des aberrations à ces efforts, nous avons réussi à obtenir une excellente haute résolution.
Le JEM-ARM300F (GRAND ARM(TM)) est un MET conçu pour fournir une résolution de premier ordre. Pourtant, la demande de MET modernes comprend la caractérisation de matières dures mais également souples. Au vu de ces circonstances, les utilisateurs de MET exigent une analyse et une amélioration encore plus améliorées avec un plus grand degré de précision.
JEOL a développé un nouveau MET, le JEM-ARM300F2 (GRAND ARM(TM)2), qui répond à ces attentes. Ce MET analytique à ultra-haute résolution atomique comporte de nombreuses caractéristiques. En particulier, grâce à une nouvelle pièce polaire de lentille d’objectif, « FHP2 », le GRAND ARM(TM)2 fournit une combinaison optimale d’imagerie à haute résolution atomique excellente ainsi qu’une analyse élémentaire EDS à angle solide de premier ordre.
La configuration standard du GRAND ARM(TM)2 comprend un boîtier atténuant les perturbations externes, entrainant ainsi une stabilité plus élevée de l’instrument.
Principales caractéristiques
1. Une combinaison optimale de résolution spatiale ultra-haute et d’analyse par rayons X à haute sensibilité.
Les caractéristiques de la pièce polaire de lentille d’objectif récemment développée FHP2 sont les suivantes :
1) Comparé à l’ancien FHP, le FHP2 fournit une efficacité de détection par rayons X plus élevée (1,4 sr), à savoir plus du double de celle du FHP.
2) Un faible coefficient optique, un faible coefficient Cc et un faible coefficient Cs permettent d’obtenir une analyse par rayons X de sensibilité élevée et à ultra-haute résolution spatiale sur une gamme de tensions d’accélération.
(Résolution STEM garantie : 53 pm à 300 kV, 96 pm à 80 kV)*
*Lorsque le correcteur d’aberrations de trajectoire en expansion (Expanding Trajectory Aberration, ETA) STEM est configuré.
2. La pièce polaire à grand angle (Wide Gap Polepiece, WGP) pour la lentille d’objectif fournit une analyse par rayons X à ultra-haute sensibilité.
Cette pièce polaire comprenant un grand angle entre le pôle supérieur et le pôle inférieur, offre les avantages suivants :
1) La WGP permet de rapprocher les détecteurs à dérive au silicium (silicon drift detectors, SDD) de grande surface de l’échantillon, obtenant ainsi une analyse par rayons X à ultra-haute sensibilité (angle solide total de 2,2 sr).
2) La WGP s’adapte à des porte-échantillons plus épais ce qui permet de réaliser divers types d’expériences in situ.
3. Les corrections d’aberrations sphériques (Cs) développées par JEOL s’intègrent à la colonne du microscope et offrent une résolution spatiale ultra-haute.
1) Associé au FHP2, le GRAND ARM(TM)2 permet d’obtenir une résolution STEM de 53 pm à 300 kV.
2) Associé à la WGP, le GRAND ARM(TM)2 permet d’obtenir une résolution STEM de 59 pm à 300 kV.
3) JEOL COSMO(TM) (Corrector System Module ou Module de système de correction) permet d’effectuer les corrections d’aberrations plus rapidement et plus facilement.
4. Un canon à effet de champ froid (cold field emission gun, Cold-FEG) est fourni en format standard.
Le GRAND ARM(TM)2 est équipé d’un Cold-FEG, fournissant ainsi une diffusion d’énergie plus faible à partir de la source d’électrons.
5. Un boîtier atténuant les interférences externes
Ce nouveau boitier est la norme en matière de réduction des interférences externes tels que le débit d’air, les changements de température ambiante et les bruits acoustiques.
Spécifications principales
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Résolution garantie
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Image HAADF-STEM : 53 pm (avec correcteur ETA et FHP2) |
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Tension d’accélération |
Normes : 300 kV et 80 kV |
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Spectromètre à rayons X à dispersion d’énergie |
SDD de grande surface (158 mm2) : Détecteurs doubles possibles |
Cible de vente d’unités annuelle
10 unités par an
JEOL Ltd.
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japon
Izumi Oi, Président et directeur de l’exploitation
(Code boursier : 6951, Première section de la Bourse de Tokyo)
www.jeol.com
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