JEOL Ltd. (TOKYO : 6951) (Président et chef de la direction : Izumi Oi) annonce le lancement de son système FIB-SEM “JIB-PS500i” le 1er février 2023.
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FIB-SEM System « PS500i » (Photo: Business Wire)
En raison de la structure plus fine des matériaux de pointe et de la complexité croissante des processus, les techniques d’évaluation comme l’observation morphologique et l’analyse d’éléments nécessitent une résolution et une précision plus élevées. Dans la préparation d’échantillons pour les microscopes électroniques à transmission (TEM) dans le secteur des semi-conducteurs ainsi que dans les domaines des batteries et des matériaux, une « précision plus élevée » et un « échantillon plus mince » sont requis.
Ce produit est un système combinant le système FIB (faisceau d’ions focalisé), capable d’effectuer un traitement avec une haute précision, et le SEM (microscope électronique à balayage) à haute résolution afin de répondre à ces besoins.
Caractéristiques principales
- La colonne du faisceau d’ions focalisé permet le traitement avec un faisceau d’ions Ga à courant important, jusqu’à 100 nA. Le traitement avec un courant puissant est particulièrement efficace pour préparer des échantillons transversaux pour une imagerie et une analyse de grande surface. Par ailleurs, la colonne du faisceau d’ions focalisé est réglée à une distance de travail plus courte. L’alimentation nouvellement développée a permis d’améliorer nettement la performance de traitement à une faible tension d’accélération.
- Un système de super lentille conique nouvellement développé est intégré dans la colonne du microscope à balayage électronique, améliorant fortement la résolution de l’image à une faible tension d’accélération. Cette superbe imagerie est très utile pour vérifier l’état d’usinage au point final d’un échantillon en lamelle en utilisant le microscope électronique à balayage.
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Le JIB-PS500i adopte une large chambre à échantillon et un support d’échantillon nouvellement développé, accroissant la plage de mouvement du support, permettant ainsi de prendre en charge de grands échantillons.
De plus, un détecteur STEM nouvellement développé pouvant être utilisé avec une inclinaison de support de 90 degrés, permet une transition fluide entre la préparation d’échantillon de TEM et l’observation STEM. - Pour l’interface utilisateur graphique d’exploitation, le “SEM center”, qui a été bien accueilli dans la gamme JSM-IT800 de microscopes électroniques à balayage haute résolution, est utilisé, permettant une intégration complète de l’analyse par spectroscopie à dispersion d’énergie (EDS).
- Une cartouche pouvant basculer sur deux axes et un support de TEM dédié permettent un alignement plus précis, tout en facilitant le transfert d’échantillon entre le TEM et le FIB.
Objectif de ventes
50 unités/an
URL du produit : https://www.jeol.com/products/scientific/fib/JIB-PS500i.php
JEOL Ltd.
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japon
Izumi Oi, Président et chef de la direction
(code boursier : 6951, premier marché de la bourse Tokyo)
www.jeol.com
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